BD系列豪华探针台

总体规格特点:

 

  • 重量:50kg(含显微镜)
  • 尺寸:590mm宽*500mm长*700mm高(含显微镜)
  • 优化的人体工学设计,便于工程师长时间舒适的操作

显微镜操控规格:

 

  • 在探针台右侧有大摇杆,提起90度后,可以使显微镜快速倾仰抬起,方便在测试时更换物镜镜头
  • 显微镜后侧有X/Y轴调节小摇轮,可调节显微镜在x-y方向的移动,移动范围2″X2″,精度1μm
  • 显微镜Z轴带有调焦粗旋钮和细旋钮,粗旋钮方便快速调焦,细旋钮方便精确调焦,使显微镜在Z轴方向行程50.8mm,移动精度1μm

台面规格:

 

  • 探针台台面平整度:5μm
  • 探针台左侧有摇杠可以控制台面快速上下升降6mm。在探针台加装探针卡点测wafer时方便对die的重选择
  • 探针台右上方有转轮摇杆,摇动时可使台面线性上下升降,升降范围25mm,精度1μm。在探针台加装探针卡点测wafer时方便对die的复位

卡盘(载物台)规格:

 

  • 6″ 卡盘,卡盘平整度:5μm,采用真空吸附方式吸附,带真空吸附孔,中心孔径250μm-1mm(可根据客户需求定制孔径大小),最小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm,最大能够吸住尺寸为6″X6″
  • 卡盘可360度旋转,旋转角度可微调,微调精度为0.1度,带角度锁定旋钮
  • 卡盘X,Y轴调节旋钮可以控制卡盘做X-Y方向的移动,移动范围为6″X6″,移动精度为1μm,为方便点测的稳定性,带有锁住功能。如果点测6″wafer的时候,可以保证6″wafer的每一点都能够点测到

性能:

 

  • 镀金真空吸附卡盘: 对应可选4″ ,6″,8″,12″产品
  • 大旋钮移动卡盘台,X-Y方向行程:6″-6″
  • 卡盘快速拉出装置便于放置/拿去样品
  • 线性无回差调节
  • 台面快速升/降行程:6mm,精调升/降行程:25mm
  • 样品尺寸: 5x5mm ~ 4″ 6″, 8″, 12″
  • 卡盘平整度: 10um
  • 卡盘旋转角度:0~360°
  • Chuck Theta: ±15
  • 大旋钮滑台X-Y方向精度: 1um
  • 台面上/下升降摇杆/旋钮
  • 显微镜倾仰装置

附件:

 

  • 显微镜倾仰装置
  • 射频测试探头/电缆
  • 有源探头
  • 低电流/电容测试
  • 高压测试
  • 激光修复
  • CCD/数字相机,USB接口
  • 探针卡/封装/PCB板夹具
  • 加热装置
  • 防震桌
  • 屏蔽箱
  • 显微镜暗场/Normarski 检测

关注我们,了解更多产品资讯。

如您有其他定制化需求,请联系我们