EB系列高性价比探针台

特点:

同轴旋钮,可单手同时操作卡盘XY轴移动,样品可快速移动到指定位置进行量测。

 

总体规格特点:

  • 重量:60kg(含显微镜)。
  • 尺寸:580mm宽*460mm长*700mm高(含显微镜)。
  • 优化的人体工学设计,便于工程师长时间舒适操作。

 

显微镜操控规格:

  • 显微镜后侧有X/Y轴调节小摇轮,可调节显微镜在x-y方向的移动,移动范围2″X2″,精度1μm。
  • 显微镜Z轴带有调焦粗旋钮和细旋钮,粗旋钮方便快速调焦,细旋钮方便精确调焦,使显微镜在Z轴方向行程50.8mm,移动精度10μm。

 

台面规格:

  • 探针台台面平整度:5μm。
  • 探针台台面为固定台面。

 

卡盘(载物台,即chuck)规格:

  • 6″ 卡盘,卡盘平整度:5μm,采用真空吸附方式吸附,带真空吸附孔,中心孔径 250μm-1mm(可根据客户需求定制孔径大小),最小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm,最大能够吸住尺寸为6″X6″。
  • 卡盘可360度旋转,旋转角度可微调,微调精度为0.1度,带角度锁定旋钮。
  • 卡盘座有小摇杆,提起90度后,可以使卡盘快速线性上升4mm,在做wafer点测时方便快速移动点测位置,同时做普通die或者decap后芯片点测时,方便快速更换样品。
  • 卡盘X,Y轴调节旋钮可以控制卡盘做X-Y方向的移动,移动范围为6″X6″,移动精度为10μm,为方便点测的稳定性,带有锁住功能如果点测6″wafer的时候,可以保证6″wafer的每一点都能够点测到。

 

产品性能:

  • 真空吸附卡盘:对应可选4″ ,6″,8″,12″产品
  • 卡盘X-Y方向精确线性移动行程:6″-6″
  • 线性无回差调节
  • 卡盘上/下移动行程:4mm
  • 4″, 6″, 8″, 12″ 晶圆 (晶圆尺寸)
  • 样品尺寸: 5x5mm ~ 4″ 6″, 8″, 12″
  • 卡盘平整度: 10um
  • 卡盘旋转角度:0~360°

 

附件

  • 显微镜倾仰装置
  • 镀金卡盘
  • 射频测试探头/电缆
  • 有源探头
  • 低电流/电容测试
  • 高压测试
  • 激光修复
  • CCD/数字相机,USB接口
  • 探针卡/封装/PCB板夹具
  • 加热装置
  • 防震桌
  • 屏蔽箱
  • 显微镜暗场/Normarski 检测

关注我们,了解更多产品资讯。

如您有其他定制化需求,请联系我们