EB系列射频探针台

产品性能:

 

  • 显微镜可快速仰起,便于更换物镜镜头,XY移动精度1um,Z轴移动精度1um
  • 平台可快速上下移动6mm,也可微调精度1um
  • 卡盘可选4/6/8/12英寸,卡盘平整度:5μm,采用真空吸附,中心孔径 250μm-1mm(可根据客户需求定制孔径大小),最小可以
  • 吸住尺寸为0.3mmX0.3mm,最大能够吸住尺寸为6″X6″,卡盘可旋转360°,精度为0.1°,卡盘可快速拉回
  • 大旋钮滑台X-Y方向精度:1um,X-Y方向精确线性移动行程:6″*6″
  • 频率最高达一太赫兹1THz,直接将射频针头的导波管与倍频器的导波管对接
  • RFx2 DCx4或 RFx4 DCx2

附件

 

  • 显微镜倾仰装置
  • 镀金卡盘
  • 射频测试探头/电缆
  • 有源探头
  • 低电流/电容测试
  • 高压测试
  • 激光修复
  • CCD/数字相机,USB接口
  • 探针卡/封装/PCB板夹具
  • 加热装置
  • 防震桌
  • 屏蔽箱

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